具有光學(xué)掃描的HEIDENHAIN測量儀器使用由規(guī)則結(jié)構(gòu)制成的測量體-即所謂的分區(qū)。 玻璃或鋼基板用作這些分區(qū)的支撐材料。 細(xì)分是通過不同的光刻工藝生產(chǎn)的。 細(xì)分由以下方式形成:?玻璃上極其耐用的鉻涂層?鍍金鋼帶上的啞光蝕刻涂層?玻璃或鋼基板上的三維結(jié)構(gòu)。

在測量過程中，位置值在儀表打開后立即可用，并且可以隨時(shí)從后續(xù)電子設(shè)備檢索。 不需要軸的方法來確定參考位置。 這種位置信息是從作為代碼結(jié)構(gòu)構(gòu)造的子盤的劃分中確定的。

對位置值插值單獨(dú)的增量軌跡，同時(shí)用于生成可選的增量信號。 對于單圈旋轉(zhuǎn)編碼器，位置信息在每次旋轉(zhuǎn)時(shí)重復(fù)。

HEIDENHAIN開發(fā)的光刻制造工藝可實(shí)現(xiàn)50微米至4微米的典型分割周期。 這些方法一方面允許精細(xì)的分割周期，另一方面具有高邊緣銳度和分割均勻性的特點(diǎn)。 與光電掃描方法一起，這對于輸出信號的高質(zhì)量至關(guān)重要。

HEIDENHAIN在專門為此目的制造的高精度零件機(jī)器上生產(chǎn)原始零件。 具有感應(yīng)掃描原理的測量儀器適用于銅/鎳基金屬或分區(qū)結(jié)構(gòu)。 分區(qū)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于印刷電路的載體材料。